So erreichen Sie eine genaue Ausrichtung von XXY-Ausrichtungsstufe und CCD-Kamera

Jul 20, 2019

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XXY-Ausrichtungstische, auch als UVW-Ausrichtungstische und XYθ (Theta) -Tische bezeichnet, wurden für hochpräzise Ausrichtungsanwendungen entwickelt. Es bewegt sich in einer XY-Ebene und dreht sich um die Mitte der XY-Ebene. Die Begriffe Ausrichtungstabelle oder XY-Rotationstisch werden häufig austauschbar mit XYθ-, XY-Theta-Tisch oder UVW-Tisch verwendet.

Erhältlich in 10 Modellen, in drei Präzisionsklassen von G-Level 2 μm, B-Level 5 μm, P-Level 10 μm, diese Modelle haben lineare Verfahrwege ± 5 mm. Zusätzlich können XXY-Tische um die Mitte der XY-Ebene bis zu ± 5 Grad bis ± 2 Grad gedreht werden, während die horizontale Belastung von 10 kg bis 100 kg reicht.

Anwendung der Präzisionsausrichtungstechnologie

Breites Anwendungsspektrum in den Bereichen Mikromaschinen, Ultrapräzisionsbearbeitung, Nanotechnologie und Halbleiter

Eine Präzisionsausrichtungstechnologie

Motor und Treiber, hochauflösender Präzisionsausrichtungstisch, CCD-Kamera und Bilderfassungskarte, Bildverarbeitungsalgorithmus-Software und Steuerung.

Wichtigster Pakt: Hochauflösender Präzisionsausrichttisch.

Als nächstes werden wir die Bewegungsschritte des UVW / XXY-Ausrichtungsstadiums auf dem Ausrichtungssystem vorstellen.

Schritt 1: Der Roboter hält die obere Glasplatte über dem Arbeitstisch, sodass sich das obere Glasplattentarget innerhalb des CCD-Sichtfelds befindet, um die Position des Targets zu bestimmen.

Schritt 2: Der Roboter hält die untere Glasplatte und verhindert, dass sie auf die Arbeitsplattform gelegt wird, sodass sich das Ziel der unteren Glasplatte innerhalb des CCD-Sichtfelds befindet, um die Position des Ziels zu bestimmen.

Schritt 3: Entsprechend der relativen Positionsdifferenz zwischen dem unteren Glasplattentarget und dem oberen Glasplattentarget wird der Bildverarbeitungsalgorithmus verwendet, um den Bewegungsbetrag (X, Y,,) des UVW / XXY-Tisches zum Antreiben des Motors zu berechnen Bewegung, um die untere Glasplatte und die obere Platte zu machen. Die Glasplatte ist genau ausgerichtet.